精密機械加工是在嚴格控制的環(huán)境條件下，使用精密機床和精密量具和量?jì)x來(lái)實(shí)現的。加工精度達到和超過(guò) 0.1微米稱(chēng)超精密機械加工。位置所依據的基準稱(chēng)為設計基準。在工序圖上用來(lái)確定本工序被加工表面加工后的尺寸、位置所依據的基準稱(chēng)為工序基準。形狀精度用來(lái)限制加工表面宏觀(guān)幾何形狀誤差，位置精度用來(lái)限制加工表面與其基準間的平行度、垂直度、同軸度等相互位置誤差。

值得提醒的是，精密零部件的模具表面拋光處理工作，不僅僅只收到工藝工序和拋光設備的影響，同時(shí)還會(huì )受到零件材料鏡面度的影響，位置所依據的基準稱(chēng)為設計基準。在工序圖上用來(lái)確定本工序被加工表面加工后的尺寸、位置所依據的基準稱(chēng)為工序基準。機械零件加工容易出現的誤差：測量誤差：零件在加工時(shí)或加工后進(jìn)行測量時(shí)，由于測量方法、量具精度以及工件和主客觀(guān)因素都直接影響測量精度。

加工時(shí)工件定位所用的基準，稱(chēng)為定位基準。作為定位基準的表面（或線(xiàn)、點(diǎn)），在道工序中只能選擇未加工的毛坯表面，這種定位表面稱(chēng)粗基準.在以后的各個(gè)工序中就可采用已加工表面作為定位基準，這種定位表面稱(chēng)精基準。微機械由于具有能夠在狹小空間內進(jìn)行作業(yè)，而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點(diǎn)，在航空航天、儀器、生物等領(lǐng)域有著(zhù)廣闊的應用潛力，并成為納米技術(shù)研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀關(guān)鍵技術(shù)。應使工藝過(guò)程有較高的生產(chǎn)加工效率，通過(guò)加工得到成品能盡快正常使用；三是應設法降低制造成本；四是要能夠減輕人工作業(yè)強度，以及還能夠讓加工安全進(jìn)行。